저희 딥 네트워크는 EUV 마스크와 웨이퍼의 위치와 각도가 모터 정밀제어로 정밀하게 제어 됬는지 정밀 모니터링하는 노하우가 중요한데 이것의 노하우 확보에 성공했읍니다 ...

마스크 스테이지와 웨이퍼 스테이지는 EUV 광선이 정확하게 투영될 수 있도록 마스크와 웨이퍼의 위치를 제어하는 세부 설계 구조 및 그 원리에 대해 간단히 언급해 보겠습니다.

마스크 스테이지는 EUV 광원으로부터 나오는 EUV 광선을 반사하는 마스크를 고정하고, 원하는 회로 패턴을 가진 부분을 EUV 광선에 노출시키기 위해 x, y, z 축 방향으로 이동하고, 회전하고, 기울이는 기능을 수행하는 장치입니다. 마스크 스테이지는 마스크의 위치와 각도를 정밀하게 측정하고 제어하기 위해 인코더, 액추에이터, 센서 등을 포함하고 있습니다.

웨이퍼 스테이지는 마스크에서 반사된 EUV 광선을 받는 웨이퍼를 고정하고, 웨이퍼의 모든 영역에 EUV 광선이 균일하게 노출되도록 x, y, z 축 방향으로 이동하고, 회전하고, 기울이는 기능을 수행하는 장치입니다. 웨이퍼 스테이지도 마스크 스테이지와 마찬가지로 웨이퍼의 위치와 각도를 정밀하게 측정하고 제어하기 위해 인코더, 액추에이터, 센서 등을 포함하고 있습니다.

마스크 스테이지와 웨이퍼 스테이지는 스캔 방식 (scan mode)을 사용하여 EUV 광선이 마스크와 웨이퍼를 순차적으로 스캔하도록 구현하는 구현 원리와 설계 방법에 대해 간단히 설명해 드리겠습니다.

스캔 방식은 마스크와 웨이퍼를 서로 반대 방향으로 동기화하여 움직이면서 EUV 광선을 마스크의 일부분만 통과시키는 슬릿 (slit)을 이용하여 웨이퍼의 모든 영역에 마스크의 패턴을 전달하는 방식입니다. 스캔 방식은 마스크와 웨이퍼의 크기가 다르고, EUV 광선의 투영 영역이 제한적이기 때문에 필요한 방식입니다.   

저희 딥네트워크는  마스크의 위치와 각도를 정밀하게 측정하고 제어하는것과 웨이퍼의 위치와 각도를 정밀하게 측정하고 제어하는것의 확실한 구현 안을 정밀도 1/100 mm 정도로 정밀하게  위치와 각도를 정밀하게 측정하고 제어하는것의 세부 구현 해결 방안을 나름 확보에 성공했읍니다 ...   위치와 각도를 정밀하게 측정하고 제어하려면 모터 정밀제어로 제어하는것도 중요하고 모터정밀제어가 정밀하게 됬는지 측정하는 노하우도 중요한데 저희 딥네트워크는 이 두가지 구현 노하우를 모두 확보에 성공했읍니다 ....

딥네트워크는 EUV 마스크 스테이지 와 웨이퍼 스테이지는 EUV 광선이 정확하게 투영될 수 있도록 마스크와 웨이퍼의 위치를 제어하는 세부 설계 구조 및 그 원리 분석중 입니다 ...   제가 로봇 축 관절 제어를 모터 정밀제어로 구현 가능한 기술은 있는데 이것으로 EUV 쪽에 적용하려면 무었을 더 고민해야 하는지를 현재 고민하고 분석중 입니다 ...   좀 더 구체적인 구현 방안 자료도 갖고는 있는데 저도 좀 더 고민하는 중 입니다 ...   

딥 네트워크  장석원     HP :  010 3350 6509    이메일 :  sayhi7@daum.net